纳米显微CT柱状线对测试卡

纳米显微CT柱状测试卡，采用双硅芯片相互垂直、通过塑料支架固定的设计理念，使两个3 x 3 mm2芯片均呈现数组线状或点状图样，宽度和直径从1μm到10μm不等。

芯片上有一个倾斜的边缘(字母“L”字样)以及一个西门子星卡图样(呈放射状)。不同的图样结构均以这样的方式排布于芯片上，从而使用户仅通过一次曝光和测量就可以对整个芯片的中心以及外围的空间分辨率做出评估。